一、夜半聞喜訊
　　 “清華又立新功，路新春教授帶領(lǐng)的團(tuán)隊(duì)研發(fā)又一芯片設(shè)備解決該領(lǐng)域國(guó)外‘卡脖子’問(wèn)題。”老同學(xué)任海倫在群里發(fā)出了一個(gè)視頻，報(bào)告這一重大喜訊。
　　 這個(gè)走在科技前沿的路新春教授，真的是我們的老同學(xué)嗎？
　　 曾做過(guò)多家集團(tuán)總工程師，自2009——2021在清華航院從事航空設(shè)計(jì)的老同學(xué)牟學(xué)利知曉路新春多年的付出，他由衷地慨嘆：“二十年不懈追求，終究功成，為您自豪！”
　　 牟日敏，這個(gè)在政府最基層兢兢業(yè)業(yè)為棲霞百姓解決果樹(shù)栽培、管理技術(shù)的高級(jí)農(nóng)藝師，用最通俗的比方開(kāi)著玩笑，來(lái)表達(dá)著內(nèi)心對(duì)老同學(xué)的欽佩：“按照比例，路大咖吃海參鮑魚，我吃塊地瓜、玉米餅子差不多?！?br />　　 JuliaZhang（張振榮）西班牙誠(chéng)信基金會(huì)理事長(zhǎng)，多年來(lái)為旅西華人能更好更快地融入西班牙社會(huì)以及華人二代、三代的健康成長(zhǎng)與發(fā)展做了大量工作，為中國(guó)與西班牙的之間良好交流做出了重要貢獻(xiàn)。盡管與我們有著七個(gè)小時(shí)的時(shí)差，但是，發(fā)現(xiàn)老同學(xué)發(fā)在群里的喜訊，抑制不住內(nèi)心的自豪，一如以往那個(gè)活潑聰穎的小姑娘，她興奮地歡呼起來(lái)：“哇！太棒了！好自豪啊！可以轉(zhuǎn)發(fā)嗎？”
　　 山大的丁教授，我們的班長(zhǎng)，也是一如既往地嚴(yán)謹(jǐn)，特意百度官方消息鏈接：“機(jī)械系路新春教授帶領(lǐng)研發(fā)首臺(tái)12英寸超精密晶圓減薄機(jī)正式進(jìn)入集成電路大生產(chǎn)線?！贝蠹s怕我們這些外行不懂得這個(gè)“晶圓”的價(jià)值，用了我們最熟悉的棲霞蘋果作比方，“一片晶圓頂一車皮蘋果！”已經(jīng)是夜里十一點(diǎn)半了，被這一喜訊驚動(dòng)，一直忙于工作的齊魯名醫(yī)牟青慧終于露面：“剛?cè)肴杭匆?jiàn)大喜事，祝賀路教授，為你傲驕！海倫好，謝謝你分享這個(gè)令人鼓舞的好消息！”任海倫同學(xué)客氣著：“影響同學(xué)們休息了，不好意思。路新春教授驕人的業(yè)績(jī)確實(shí)可喜可賀。”
　　 行家看門道，外行看熱鬧。路教授的研發(fā)，到底有多大的價(jià)值，作為科技盲，我一竅不通。同與他來(lái)自古鎮(zhèn)都聯(lián)中、且在清華工作過(guò)的牟學(xué)利預(yù)測(cè)：“路新春?，我感覺(jué)您的晶圓減薄機(jī)有科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)的可能。不過(guò)現(xiàn)在條件有些嚴(yán)格，需100個(gè)專利，100億產(chǎn)值?！彼脑?，讓我們對(duì)路教授團(tuán)隊(duì)的研發(fā)價(jià)值有了具體量化的了解。
　　 面對(duì)大家的贊美，路新春同學(xué)很是謙遜：“咱們班個(gè)個(gè)都是能人，在各行各業(yè)為黨為祖國(guó)為人民為家庭做出了不可磨滅的貢獻(xiàn)，我只不過(guò)是晚熟，后知后覺(jué)，該退休年齡了還在瞎折騰而已，無(wú)他。”
　　
　　 二、產(chǎn)業(yè)報(bào)國(guó)，還看新春
　　 “產(chǎn)業(yè)報(bào)國(guó)，還看新春！”山東工商學(xué)院的崔滬教授連連翹著大拇指。
　　 帶著好奇，更懷著驕傲，我開(kāi)始在網(wǎng)上搜尋關(guān)于關(guān)于路新春教授的報(bào)道。
　　 “據(jù)清華大學(xué)新聞網(wǎng)報(bào)道，該裝備是路新春教授團(tuán)隊(duì)與華海清科股份有限公司繼解決我國(guó)集成電路拋光裝備‘卡脖子’問(wèn)題后的又一突破性成果，將應(yīng)用于3DIC制造、先進(jìn)封裝等芯片制造大生產(chǎn)線，滿足12英寸晶圓超精密減薄工藝需求?！?br />　　 “面向國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展布局，自2000年起，路新春教授團(tuán)隊(duì)開(kāi)展化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）基礎(chǔ)研究，承擔(dān)國(guó)家重大科技攻關(guān)任務(wù)十余項(xiàng)，成功孵化華海清科并研制出我國(guó)第一臺(tái)12英寸‘干進(jìn)干出’CMP裝備及系列產(chǎn)品，整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，實(shí)現(xiàn)28nm工藝量產(chǎn)，并具備14-7nm工藝拓展能力，市占率、進(jìn)口替代率均位居國(guó)產(chǎn)IC裝備前列?！?br />　　 在2021北京微電子國(guó)際研討會(huì)暨ICWORLD大會(huì)華海清科邀請(qǐng)函中，我讀到了這樣的字眼：“作為一家擁有核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商，華海清科主要從事化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）、研磨等設(shè)備和配套耗材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售，以及晶圓再生代工服務(wù)?！?br />　　 “擁有核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)”，這幾個(gè)字，讓人不由得心潮澎湃，激動(dòng)不已。
　　 落后就意味著挨打。曾經(jīng)，我們的祖國(guó)國(guó)力衰弱，為列強(qiáng)入侵、蹂躪，生靈涂炭，國(guó)破家亡，是毛澤東主席與無(wú)數(shù)的革命先輩拋頭顱灑熱血，領(lǐng)導(dǎo)華夏兒女浴血奮戰(zhàn)，打下了紅色江山，讓中國(guó)人民站起來(lái)了。曾經(jīng)，蘇聯(lián)卡我們的脖子，年輕的共和國(guó)百?gòu)U待興，無(wú)數(shù)的科學(xué)家忍受著物質(zhì)極度匱乏與惡劣的工作環(huán)境，潛心研發(fā)，讓原子彈、氫彈爆炸，使我們的民族完全擺脫任人宰割危機(jī)四伏噩夢(mèng)一般的日子；讓衛(wèi)星升天，“東方紅”唱響寰宇。毛澤東主席倡導(dǎo)以獨(dú)立自主、自力更生、艱苦奮斗的精神“走自己的建設(shè)道路”，激勵(lì)著科技工作者創(chuàng)造出一個(gè)又一個(gè)世界奇跡。然而，畢竟我們國(guó)家工業(yè)化的底子薄，加上十年動(dòng)亂的影響，好多領(lǐng)域我們還遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于世界先進(jìn)水平。
　　 曾經(jīng)看到過(guò)一個(gè)視頻，中國(guó)科學(xué)院院士，何祚庥夫婦在痛心疾首披露著一個(gè)眾所周知的現(xiàn)實(shí)：現(xiàn)在醫(yī)院中的大型醫(yī)療設(shè)備95%依賴進(jìn)口，即使是何院士耳朵里戴的小小助聽(tīng)器也是進(jìn)口國(guó)外，十萬(wàn)人民幣一對(duì)，而中國(guó)物理在此方面貢獻(xiàn)甚微。這些年中國(guó)科技的確有了巨大進(jìn)步，但還有好多制造業(yè)的一些關(guān)鍵配件、原材料還需依賴外國(guó)進(jìn)口，一旦國(guó)外封鎖，就會(huì)給很多行業(yè)帶來(lái)危機(jī)。
　　 習(xí)近平總書記在考察清華大學(xué)時(shí)曾指出，要把服務(wù)國(guó)家作為最高追求。
　　 在路新春教授帶領(lǐng)的團(tuán)隊(duì)身上，我感受到了科技工作者強(qiáng)烈的使命感和愛(ài)國(guó)熱情，他們刻苦攻關(guān)，自覺(jué)履行高水平科技自立自強(qiáng)的使命擔(dān)當(dāng)，努力提升服務(wù)社會(huì)、服務(wù)國(guó)家的技術(shù)創(chuàng)新能力，一步一個(gè)堅(jiān)實(shí)的腳印，向世界高科技先進(jìn)水平攀登。
　　 化學(xué)機(jī)械平坦化（CMP），也稱化學(xué)機(jī)械拋光，是通過(guò)使用化學(xué)腐蝕和機(jī)械作用對(duì)加工過(guò)程中的晶圓進(jìn)行平坦化處理，以獲得納米級(jí)別平整表面的全局平坦化方法，是超大規(guī)模集成電路制造的五大關(guān)鍵技術(shù)之一。自2000年起，清華大學(xué)機(jī)械系雒建斌院士、“長(zhǎng)江學(xué)者”路新春教授帶領(lǐng)研究團(tuán)隊(duì)從事拋光技術(shù)研究，在拋光技術(shù)與拋光裝備研究領(lǐng)域上均取得了突出的成績(jī)，相關(guān)研究成果獲得了教育部科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)和國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。團(tuán)隊(duì)研制出的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的12英寸CMP裝備，其主要技術(shù)指標(biāo)和拋光性能與目前國(guó)際上主流設(shè)備相當(dāng)，且具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、控制簡(jiǎn)便、生產(chǎn)效率高的特點(diǎn)。
　　 為推動(dòng)項(xiàng)目發(fā)展，2013年3月，清華大學(xué)聯(lián)合天津市政府，投資設(shè)立了天津華海清科機(jī)電科技有限公司，路新春任董事長(zhǎng)和首席科學(xué)家，他帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)研發(fā)和生產(chǎn)具有我國(guó)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平的高端CMP設(shè)備，填補(bǔ)我國(guó)不能生產(chǎn)CMP設(shè)備的歷史空白，為我國(guó)集成電路制造產(chǎn)業(yè)提供先進(jìn)的拋光設(shè)備。
　　 華海清科自成立以來(lái)，一直致力于高端CMP設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化工作，并取得重大進(jìn)展，現(xiàn)擁有獲授權(quán)技術(shù)發(fā)明專利100余項(xiàng)，是目前國(guó)內(nèi)唯一可提供12英寸CMP量產(chǎn)商業(yè)機(jī)型能力的企業(yè)。
　　 2017年清華產(chǎn)業(yè)重大科技轉(zhuǎn)化成果亮相高交會(huì)，清華控股10大重大科技成果轉(zhuǎn)化，其中超大規(guī)模集成電路制造化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)即是華海清科研發(fā)的。
　　 2019年5月世界半導(dǎo)體大會(huì)上，華海清科“12英寸化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備Universal-300Plus”因其卓越的創(chuàng)新、優(yōu)異的性能、迅速獲得市場(chǎng)高度認(rèn)可而獲選2018年度中國(guó)半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品！2019年清華大學(xué)華海清科榮獲中國(guó)機(jī)械工業(yè)科學(xué)技術(shù)（發(fā)明）特等獎(jiǎng)、天津市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)（發(fā)明）一等獎(jiǎng)。
　　 2020年4月，華海清科榮獲上海華力2019年度“最具潛力供應(yīng)商”獎(jiǎng)。
　　 2020年5月，集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟舉辦的2020集成電路產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展交流會(huì)在北京召開(kāi)。在備受矚目的第三屆IC創(chuàng)新獎(jiǎng)的頒獎(jiǎng)環(huán)節(jié)，華海清科憑借“12英寸Dual系列化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）設(shè)備”項(xiàng)目斬獲“技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)”殊榮。
　　 2021年5月，華海清科榮獲華虹宏力2020年度“優(yōu)秀供應(yīng)商”。
　　 2021年9月27日，作為我國(guó)集成電路裝備行業(yè)的核心企業(yè)之一，華海清科股份有限公司成功推出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的十二英寸超精密晶圓減薄機(jī)Versatile-GP300，于9月27日發(fā)往某客戶大生產(chǎn)線。
　　 新年伊始，佳績(jī)頻傳。2022年1月7日，華海清科12英寸化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）設(shè)備順利出貨，進(jìn)入先進(jìn)封裝國(guó)際頭部企業(yè)，做TSV化學(xué)機(jī)械拋光。這是繼邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片、大硅片、化合物半導(dǎo)體之后，我司CMP設(shè)備在先進(jìn)封裝這一重要領(lǐng)域的進(jìn)一步拓展，充分彰顯了華海清科國(guó)產(chǎn)集成電路裝備品牌硬實(shí)力。
　　 將科技成果轉(zhuǎn)化為產(chǎn)業(yè)，讓科技進(jìn)步與國(guó)家現(xiàn)代化和民族復(fù)興同向同行，華海清科董事長(zhǎng)、首席科學(xué)家路新春教授以及華海清科人身上，真實(shí)體現(xiàn)了華夏子孫高度的社會(huì)責(zé)任感，他們憑借不懈的努力，讓科技進(jìn)步在我國(guó)經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展中發(fā)揮到了支撐引領(lǐng)作用。
　　
　　 三、曾經(jīng)那個(gè)翩翩少年
　　 身著軍裝色的上衣，白皙的臉龐，瘦削的身材，一雙劍眉上挑，瞇縫著的眼睛盡管不大，但十分有神。平時(shí)里斯文儒雅，風(fēng)度翩翩；操場(chǎng)上生龍活虎，神采飛揚(yáng)。這是高中時(shí)代的他。
　　 熟悉他的同學(xué)說(shuō)，小時(shí)候，路新春的聰明就在十里八鄉(xiāng)遠(yuǎn)近聞名，中學(xué)的初一初二是范家聯(lián)中上學(xué)，他在學(xué)校總是第一，其驕人的成績(jī)用他同學(xué)的話來(lái)講，就是只能望其項(xiàng)背。初三進(jìn)公社重點(diǎn)班——古鎮(zhèn)都中學(xué)，由于初二才開(kāi)始開(kāi)設(shè)英語(yǔ)課、英語(yǔ)老師也是現(xiàn)學(xué)現(xiàn)賣，開(kāi)始時(shí)英語(yǔ)考試只能得個(gè)十幾分。因?yàn)槟莻€(gè)時(shí)候，全縣英語(yǔ)老師青黃不接，師資力量薄弱。記得我初一時(shí)，開(kāi)始沒(méi)有老師教英語(yǔ)，后來(lái)聘請(qǐng)了一位還沒(méi)有平反的老人家教我們，他是被打成右派下放到農(nóng)村改造的，非師范畢業(yè)的老師只是領(lǐng)著我們反復(fù)讀，但是我們不會(huì)音標(biāo)，不懂發(fā)音規(guī)律呀，所以學(xué)英語(yǔ)全靠死記硬背。記得老師教給大家讀“What\'s this”，我們就在英語(yǔ)句子下標(biāo)注：“我此罪死”。七年級(jí)的英語(yǔ)老師是去突擊培訓(xùn)了八個(gè)月后回來(lái)教我們的，正是這些培訓(xùn)英語(yǔ)八個(gè)月的老師，不斷在教學(xué)中學(xué)習(xí)，后來(lái)扛起了棲霞初級(jí)中學(xué)英語(yǔ)教學(xué)的大旗。我讀初中時(shí)，高中根本沒(méi)有開(kāi)設(shè)英語(yǔ)課，去姐姐所在的高中宿舍住宿，她的同學(xué)問(wèn)我“枕頭”怎么讀，我不會(huì)，她們搞笑地編排道：“枕頭是‘外布里是糠’”。
　　 英語(yǔ)教學(xué)師資力量薄弱，全縣都差不多情況。而路新春同學(xué)居然在初三一年的時(shí)間里發(fā)奮努力，奮力直追，之后脫穎而出，以優(yōu)異的成績(jī)考進(jìn)了縣重點(diǎn)班。在一年時(shí)間里要把六冊(cè)英語(yǔ)的知識(shí)學(xué)會(huì)搞懂，盡管聰明如他，這期間的付出，不言而喻。當(dāng)時(shí)初中和他是同學(xué)的，有好幾個(gè)數(shù)理化成績(jī)不錯(cuò)，但因?yàn)橛⒄Z(yǔ)不行，沒(méi)有考上重點(diǎn)班，以至于沒(méi)有考上大學(xué)。
　　 進(jìn)入高中縣重點(diǎn)八一級(jí)一班，畢竟這里云集了全縣的精英學(xué)子，路新春進(jìn)班時(shí)為中游，不甘人后的他，學(xué)習(xí)上奮勇直追，甩下好幾十人，最好考到班級(jí)第二名。不僅學(xué)習(xí)不肯輸給他人，體育方面也是如此。高中時(shí)的運(yùn)動(dòng)會(huì)上，他獲得800米和1500米的冠軍，成績(jī)甚至超過(guò)了當(dāng)時(shí)體育班的同學(xué)。
　　 高考，對(duì)于平時(shí)優(yōu)秀的他來(lái)說(shuō)，算是失利了，盡管如此，也夠了復(fù)旦的線，可惜所報(bào)專業(yè)是計(jì)算機(jī)、管理等，也許因著數(shù)學(xué)成績(jī)不太理想吧，沒(méi)被錄取，最后被吉林工業(yè)大學(xué)（現(xiàn)在的吉林大學(xué)）招生的老師看到了，就提檔了。后來(lái)老師說(shuō)，還怕他不去呢。他自己內(nèi)心其實(shí)也動(dòng)搖過(guò)，稀里糊涂去他從不曾想到過(guò)的吉林工大，心有不甘，甚至想著復(fù)讀過(guò)。最后還是決定去讀大學(xué)了。
　　 在那兒，成績(jī)優(yōu)秀的他，學(xué)習(xí)起來(lái)很是輕松，于是，他有了精力去玩他喜歡的體育活動(dòng)。他是一個(gè)只要有目標(biāo)就立即行動(dòng)的人，他主動(dòng)去找校隊(duì)教練，請(qǐng)求加入學(xué)校中長(zhǎng)跑隊(duì)。那時(shí)候校隊(duì)開(kāi)始有特招生了，他是一個(gè)正常招生的，先是跟特招生一起試訓(xùn)，當(dāng)然吃了很多苦，但是，他堅(jiān)持下來(lái)了，最后被學(xué)校田徑隊(duì)正式接納。除了喜歡，還有一個(gè)主要原因是校隊(duì)有伙食補(bǔ)貼，訓(xùn)練日每天6毛錢，另外有隊(duì)服，用他的話說(shuō)，穿著挺牛逼的。這對(duì)于出身農(nóng)村家庭不甚富裕的孩子來(lái)說(shuō)，誘惑力巨大。因?yàn)楂@得了校隊(duì)吃和穿的福利，是可以減輕父母的負(fù)擔(dān)啊。后來(lái)教練看他肢體的協(xié)調(diào)性還不錯(cuò)，就讓他改練競(jìng)走。
　　 做什么事，非得做出個(gè)樣子不可。他練習(xí)競(jìng)走甚能吃苦，功夫不負(fù)有心人，他在這一方面也成績(jī)輝煌，曾經(jīng)拿過(guò)長(zhǎng)春市、吉林省的5公里競(jìng)走冠軍。1986年，他被選拔代表吉林省大學(xué)生參加了在大連舉行的第二屆全國(guó)大學(xué)生運(yùn)動(dòng)，競(jìng)走得了第六名，因?yàn)檫@次沒(méi)能得到獎(jiǎng)牌，他一直耿耿于懷。
　　 熟悉他的崔滬教授曾經(jīng)爆料：路新春酷愛(ài)體育運(yùn)動(dòng)，高中時(shí)曾帶領(lǐng)我們81級(jí)1班拿過(guò)全校5000米長(zhǎng)跑團(tuán)體冠軍。看完少林寺，是他告訴我李連杰一秒鐘能出七拳，曾經(jīng)來(lái)山東工商學(xué)院跟我打過(guò)羽毛球，他是羽毛球高手，水平也相當(dāng)了得。
　　 不甘人后，嚴(yán)謹(jǐn)，認(rèn)真，能吃苦，不管做什么，只要認(rèn)準(zhǔn)目標(biāo)，竭盡全力努力去爭(zhēng)取做最好的。路新春，從青澀靦腆的中學(xué)生到活力四射的大學(xué)生，一直都是如此。
　　
　　 四、串串閃光的足跡
　　 路新春為華海清科的首席科學(xué)家，也是該公司的技術(shù)、產(chǎn)品研發(fā)帶頭人，累計(jì)獲已授權(quán)國(guó)家發(fā)明專利100多件，獲授權(quán)美國(guó)專利3件，獲授權(quán)臺(tái)灣專利3件。曾牽頭起草1項(xiàng)企業(yè)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)。目前，為國(guó)家自然科學(xué)基金重大項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，曾是國(guó)家自然科學(xué)基金重大研究計(jì)劃集成項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、國(guó)家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，曾為國(guó)家“973”計(jì)劃課題負(fù)責(zé)人，多項(xiàng)自然科學(xué)基金項(xiàng)目負(fù)責(zé)人。路新春發(fā)表SCI收錄論文200多篇，被引用2000多次，H因子為30，是位居全球CMP設(shè)備領(lǐng)域技術(shù)專家前三名，也是全球CMP設(shè)備技術(shù)授權(quán)專利獲得最多的專家。